設(shè)備簡(jiǎn)介
KC3111功率半導(dǎo)體高精度靜態(tài)特性測(cè)試系統(tǒng)（面向工廠生產(chǎn)端），基于全新三代半SiC, GaN器件和模塊以及車規(guī)級(jí)模塊的新興要求而進(jìn)行的一次高標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品開發(fā)。脈沖信號(hào)源輸出方面，高壓源標(biāo)配2000V（選配3.5KV）,高流源標(biāo)配1KA（選配4KA多模塊并聯(lián)）,柵極電壓30V。采用多量程設(shè)計(jì)架構(gòu)，各量程下均可保證0.1%精度，具有uΩ級(jí)精確測(cè)量，pA 級(jí)漏電流測(cè)量能力。全自動(dòng)程控軟件，圖型化上位機(jī)操作界面。內(nèi)置開關(guān)切換矩陣保證測(cè)試效率。模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)預(yù)留升級(jí)擴(kuò)展?jié)撃?。測(cè)試接口可外掛各類夾具和適配器，還能夠通過專用接口連接各種Handler：如分選機(jī)、機(jī)械手、探針臺(tái)、編帶機(jī)等。
適用產(chǎn)品
可測(cè)Si, SiC, GaN 材料的IGBTs, DIODEs, LED,MOSFETs, BJTs, HEMTs, 電容，光耦等產(chǎn)品的生產(chǎn)測(cè)試。
參考標(biāo)準(zhǔn)
IEC 60747-8/9 半導(dǎo)體分立器件第8/9部分/JEDEC標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備特點(diǎn)
KC-3111系 統(tǒng) 包 含 ： 硬件平臺(tái) + 實(shí)時(shí)軟件，可測(cè)試靜態(tài)特性、IV 曲線、容阻測(cè)試（Rg、Cxss）、CV 曲線；主要特點(diǎn)如下:
量程寬：電壓 2KV/3.5KV；電流 1KA/2KA/3KA/4000A（模塊并聯(lián)）高精度：多量程設(shè)計(jì)架構(gòu)，各量程下均可保證 0.1%精度，具有 uΩ級(jí)精確測(cè)量、pA 級(jí)漏電流測(cè)量；
高效率：內(nèi)置開關(guān)矩陣，自動(dòng)切換測(cè)量單元，提高生產(chǎn)測(cè)試效率；
模塊化：根據(jù)測(cè)試需求搭配不同規(guī)格測(cè)量單元。
在線高低溫箱:選裝-50℃~﹢150℃(最高 200℃)專用高精度實(shí)時(shí)在線高低溫箱，支持 48 工位和 98 工位。圓形旋轉(zhuǎn)盤，溫度均勻性優(yōu)秀選配溫控模塊也可與第三方溫箱實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)控制；
具備數(shù)據(jù)管理功能，上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)曲線、報(bào)告及自動(dòng)保存；
IV曲線：2K點(diǎn)以內(nèi)的 IV 曲線實(shí)時(shí)掃描；CV曲線：柵電阻 Rg、反向傳輸電容 Cres、輸入電容 Cies、輸出電容 Coes、CV 曲線。
軟件系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)
